产品优势
支持L/S=1.4μm/1.4μm量产工艺
支持650×550mm的全面板量产
分割对齐和全局对齐方式,也可以对应芯片第一工序
通过每个镜头都配备了倾斜机构来提高成品率
直写光刻
DPS-04
DPS-02
投影光刻
MPS-02