产品优势
高解析光学镜头提升线路品质，干模上实现高解析6/6μm
产品优势
精密导轨平台实现±5μm对准精度，进阶气浮平台技术，精度提升至±3.5μm
产品优势
自动光学聚焦集成技术，克服板面厚度不均
产品优势
自主镜像双台面交替对准曝光技术，AF测量和分区对准开启产能不掉速
| 产品特色 | 单台面标准机型 |
| 最大基板尺寸 | 630mm×730mm |
| 最小基板尺寸 | 300mm×300mm |
| 基板厚度 | 0.05mm~3mm |
| 工艺解析L/S | 8µm/8µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±75µm |
| 层间对位精准度 | 10µm |
| 外层对位准精度 | ±5µm |
| 曝光时间(90mj/cm²每片四点对位，不含上下板） | 18秒／面＠623mm×410mm |
| 生产效率(90mj/cm²每片四点对位） | 3面／分钟＠623mm×410mm |
| 光源功率 | 6W |
| 单机台面数量 | 单台面 |
| 内层线路模组 | 内外层通用 |
| 单机设备重量 | 5500kg |
| 单机外形尺寸 | 2940mm×1700mm ×2195mm |
| 自动线外形尺寸 | 6380mm×3082mm×2455mm（不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 890±20mm |
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