DPS-08

产品优势

高解析光学镜头提升线路品质,干膜上实现高解析6/6μm

产品优势

精密导轨平台实现±5μm对准精度,进阶气浮平台技术,精度提升至±3.5μm

产品优势

自动光学聚焦集成技术,克服板面厚度不均

产品优势

自主镜像双台面交替对准曝光技术,AF测量和分区对准开启产能不掉速

设备参数
产品特色 单台面标准机型
最大基板尺寸 630mm×730mm
最小基板尺寸 300mm×300mm
基板厚度 0.05mm~3mm
工艺解析L/S 8µm/8µm
线宽精度 ±10%
景深 ±75µm
层间对位精准度 10µm
外层对位准精度 ±5µm
曝光时间(90mj/cm²每片四点对位,不含上下板) 18秒/面@623mm×410mm
生产效率(90mj/cm²每片四点对位) 3面/分钟@623mm×410mm
光源功率 6W
单机台面数量 单台面
内层线路模组 内外层通用
单机设备重量 5500kg
单机外形尺寸 2940mm×1700mm ×2195mm
自动线外形尺寸 6380mm×3082mm×2455mm(不含收放板机)
工作高度(输送高度) 890±20mm
设备参数

产品特色

单台面标准机型

最大基板尺寸

630mm×730mm

最小基板尺寸

300mm×300mm

基板厚度

0.05mm~3mm

工艺解析(L/S)

8μm/8μm

线宽精度

±10%

景深

±75μm

层间对位精准度

10μm

外层对位准精度

±5μm

曝光时间(90mj/cm2&每片四点对位,不含上下板)

18秒/面@623mm×410mm

生产效率(90mj/cm2&每片四点对位)

3面/分钟 @623mm×410mm

光源功率

6W

单机台面数量

单台面

内层线路模组

内外层通用

单机设备重量

5500kg

单机外形尺寸

2940mm×1700mm×2195mm

自动线外形尺寸

6380mm×3082mm×2455mm(不含收放板机)

工作高度(输送高度)

890±20mm