产品优势
高解析光学镜头提升线路品质,干模上实现高解析6/6μm
产品优势
高解析光学镜头提升线路品质,干模上实现高解析6/6μm
产品优势
精密导轨平台实现±5μm对准精度,进阶气浮平台技术,精度提升至±3.5μm
产品优势
自动光学聚焦集成技术,克服板面厚度不均
产品优势
自主镜像双台面交替对准曝光技术,AF测量和分区对准开启产能不掉速
产品特色 | 单台面标准机型 |
最大基板尺寸 | 630mm×730mm |
最小基板尺寸 | 300mm×300mm |
基板厚度 | 0.05mm~3mm |
工艺解析L/S | 8µm/8µm |
线宽精度 | ±10% |
景深 | ±75µm |
层间对位精准度 | 10µm |
外层对位准精度 | ±5µm |
曝光时间(90mj/cm²每片四点对位,不含上下板) | 18秒/面@623mm×410mm |
生产效率(90mj/cm²每片四点对位) | 3面/分钟@623mm×410mm |
光源功率 | 6W |
单机台面数量 | 单台面 |
内层线路模组 | 内外层通用 |
单机设备重量 | 5500kg |
单机外形尺寸 | 2940mm×1700mm ×2195mm |
自动线外形尺寸 | 6380mm×3082mm×2455mm(不含收放板机) |
工作高度(输送高度) | 890±20mm |