DPM-06

产品优势

高解析光学镜头提升线路品质,干膜上实现高解析6/6μm

产品优势

精密导轨平台实现±5μm对准精度,进阶气浮平台技术,精度提升至±3.5μm

产品优势

自动光学聚焦集成技术,克服板面厚度不均

产品优势

自主镜像双台面交替对准曝光技术,AF测量和分区对准开启产能不掉速

设备参数
产品特色 高精度镜像气浮平台
最大基板尺寸 630mm×730mm
最小基板尺寸 300mm×300mm
基板厚度 0.05mm~3mm
工艺解析L/S 6µm/6µm
线宽精度 ±10%
景深 ±200µm(带AF模组)
层间对位精准度 7µm
外层对位准精度 ±3.5µm
曝光时间(90mj/cm²每片四点对位,不含上下板) 42秒/片 @623mm×610mm
生产效率(90mj/cm²每片四点对位) 1.4片/分钟 @623mm×610mm
光源功率 6W
单机台面数量 左右交互气浮双台面
内层线路模组 选配
单机设备重量 16000kg(含自动线)
单机外形尺寸 n/a
自动线外形尺寸 6620mm×3220mm×2400mm (不含收放板机)
工作高度(输送高度) 1000±20mm
设备参数

产品特色

高精度镜像气浮平台

最大基板尺寸

630mm×730mm

最小基板尺寸

300mm×300mm

基板厚度

0.05mm~3mm

工艺解析(L/S)

6μm/6μm

线宽精度

±10%

景深

±200μm(带AF模组)

层间对位精准度

7μm

外层对位准精度

±3.5μm

曝光时间(90mj/cm2&每片四点对位,不含上下板) 

42秒/片@623mm×610mm

生产效率(50mj/cm2&每片四点对位) 

1.4片/分钟@623mm×610mm

光源功率

6W

单机台面数量

左右交互气浮双台面

内层线路模组

选配

单机设备重量

16000kg(含自动线)

单机外形尺寸

n/a

自动线外形尺寸

6620mm×3220mm×2400mm(不含收放板机)

工作高度(输送高度)

1000±20mm