产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光
如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
支持兼容不同尺寸的电池片对位曝光
如:158/166/182/210整片及半片
产品优势
超高精度
线宽解析3um/3um
产品优势
支持有Mark对位及寻边对位
产品优势
R&D利器
助力挑战世界纪录
产品特色 | 单机全自动,分割曝光 |
最大基板尺寸 | 220mm×220mm |
最小基板尺寸 | 156mm×156mm(含半片) |
基板厚度 | 0-1mm |
极限解析(L/S) | 3µm/3µm |
线宽精度 | ±0.6µm |
景深 | ±15µm |
对位精准度 | 寻边对位±40µm,Mark点对位±3µm |
生产效率 | 45pcs/h&70mj/cm²(210mm×105mm) |