产品优势
产品迭代更新
装机总量超过700台
产品优势
100%自产子系统模块
经过大规模市场验证
成熟可靠
产品优势
上下双台面交互，产速高，通用性强
是MLB产品DI线路曝光机理想之选
产品优势
产品迭代更新
装机总量超过700台
产品优势
100%自产子系统模块
经过大规模市场验证
成熟可靠
产品优势
上下双台面交互，产速高，通用性强
是MLB产品DI线路曝光机理想之选
| 产品特色 | 双台高效 |
| 最大基板尺寸 | 630mm×730mm（有效曝光尺寸623mm×730mm) |
| 最小基板尺寸 | 250mm×250mm（单机），300mm×300mm（自动线） |
| 基板厚度 | 0.05mm~5mm（单机），0.1mm~3.5mm（自动线） |
| 工艺解析L/S | 35µm/35µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±300µm |
| 层间对位精准度 | 20µm |
| 外层对位准精度 | ±10µm |
| 曝光时间(623mm×680mm&四点对位，不含上下板） | 8秒/面＠50mj/cm² |
| 生产效率(623mm×680mm&四点对位） | 7.5面／分钟＠50mj/cm² |
| 光源功率 | 48W |
| 单机台面数量 | 上下交互双台面 |
| 内层线路模组 | 内外层通用 |
| 单机设备重量 | 5000kg |
| 单机外形尺寸 | 3150mm×1700mm×1950mm |
| 自动线外形尺寸 | 6380mm×3460mm×2455mm（不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 1030±20mm |
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