DiPTEinge 光刻系统


DiPTEngine光刻系统是基于DLP技术开发的应用于PCB、IC封装、FPD、IC FAB和TP等领域的直接成像设备。设备生产厂商可直接集成DiPTEngine在他们的直接成像设备上。另外,DiPTEngine配套有已通过市场论证的系统流程软件平台,非常方便设备制造厂商在此软件平台上开发适合自己应用的直接成像系统。


DiPTEinge光刻系统有五种不同的版本: DiPTEngine D5、DiPTEngine 05、DiPTEngine 10、DiPTEngine 25和DiPTEngine 50,其具体规格如下:



通过市场验证的系统流程软件

与DiPTEngine配套的系统流程软件是Mikoptik专门针对数字光刻系统而设计,拥有完善的系统集成算法、基于CCD的视觉对位算法及优化过的系统流程配置。

该系统流程软件支持基于脚本语言的而此开发,方便我们的客户在拿到基本版本后进行客制化的二次开发。


高产能

光刻机具有最高64W/头的高功率的UV光能量配置,再加上高速数据传输接口和超高刷新速度的DLP,能够使设备具有相当高的产能。


25Gbit 和40Gbit的高速无损数据传输速率

光刻机的DLP数据处理主板拥有25Gbit的光纤通讯端口和 40Gbit的PCI-E接口,能够以非常高的速度接受无损数据传输。文件可以由40Gbit的PCI-E接口以40Gbit/s的速度从预处理PC传输到设备;工作中,实时的传输则可由25Gbit的光纤端口处理。如此,可以大大减少系统处理图像时间的占比。


图像的实时涨缩及全面的涨缩管控模式

DiPTEngine会将Gerber/ODB++文件转换成特殊的文件格式。系统每次加载新的文件只需要数秒,而文件的涨缩处理在开始打印的时候可以即时完成。

DiPTEngine支持多种涨缩模式:自动涨缩、固定涨缩、群组涨缩和分区涨缩。并可在批量曝光时实时测量并记录涨缩值,如果单片涨缩值偏差较大时即提供预警。


自动对焦和跟踪系统

由于PCB板材表面并非一个完全平整的平面,所以Mikoptik开发了该实时自动对焦和跟踪系统,保证当曝光扫描速度高达1000mm/s时,Z轴可以做到在10mm的范围内实现上下100um范围的自动对焦调整,从而确保最终在PCB板上获得完美无暇的曝光效果。


低维护成本

DLP以及LED/LD的超长工作寿命,业界领先的光学封装系统,降低了对设备运营洁净度的依赖性,这些特性保证了在产品的整个生命周期中非常低的后期维护成本。

 

多种光源配置

DiPTEngine提供了UV-LD及多波长UV LED工客户选择,涵盖范围从350nm到440nm的波长。

针对UV-LED优化的投影镜头设计有很大的NA,确保每个LED都能投出锐利的画面且光学利用效率更高。

针对单波长UV-LD光源优化的投影镜头设计有更高的分辨率、更大的焦深及光学利用效率,确保更高品质和产能的曝光。

多波长LED光源能确保DiPTEngine针对PCB领域的各种内层,外层以及防焊都能提供解决方案,且能提供更经济的售后运营成本。


数字光学差值技术(Digital Light Interpolation Technology)

DiPTEngine是在Mikoptik独有的数字光学差值技术(Digital Light Interpolation Technology)的基础上开发而成的,得以在匀速扫描的过程中实现X方向亚像素化SPX(Sub-pixelation)。数字光学差值技术能够在投影图像上达到自然像素最高56倍的分辨率。


帧能量补偿技术(Slice Power Compensation Technology)

DiPTEngine的帧能量补偿技术SPC(Slice Power Compensation)可以精确的控制每一帧图像的能量输出及位置精度,可有效实现扫描过程中Y方向(扫描方向)上的亚像素化SPX(Sub-pixelation),最高可实现6倍的分辨率,从而突破DMD本身的翻转极限,实现了高精度与高产能的平衡,且保证曝光材料受到均匀的能量照射。


超高精密光学

DiPTEngine所采用的数字光学差值技术对光学性能和组装都提出了很高要求。Mikoptik特意为此开发了一套镜片组装工艺,从而可以保证每个镜片在XYZ方向都可以达到+/-5um的精度控制,特别是核心的MLA装配保证2um以内的DMD与MLA对准精度。


我们有现成的DiPTEngine系统,随时可以为客户进行演示和PCB样品打样,以便客户评估其性能和产能。


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