产品参数
型号 | DiSS-05HG | DiSS-02MG | DiSS-D5MG | |||||||
应用领域及优势 | 触摸屏、彩色滤光片、有机EL、C-STN、电子纸等G3~G5线 | |||||||||
[email protected]*1300mm | [email protected]*1300mm | [email protected]*1300mm | ||||||||
灰度曝光 | 精细特征图形 | 高产速超精细线路LDI产品 | ||||||||
技术架构 | 405nm单波长+DMD+ 交互双台面+MLA镜头 | 405nm单波长+DMD+ 镜像台面+MLA镜头 | 405nm单波长+DMD+ 镜像台面+MLA镜头 | |||||||
DMD头数 | 24个头(One Scan) | 24个头(One Scan) | 48个头(One Scan) | |||||||
激光器功率 | 36W/head | 36W/head | 12W/head | |||||||
光斑尺寸/工艺解析 | 5μm | 2.5μm | 1μm | |||||||
建议量产线宽/线距 | 8μm/8μm | 4μm/4μm | 1.5μm/1.5μm | |||||||
资料解析度 | 1μm | 0.5μm | 250nm | |||||||
对位精度 | ±8μm | ±1μm | ±300nm | |||||||
支持基板尺寸 | 1100*1300mm | |||||||||
镜头固定方式 | 大理石平面固定,镜头相对位置关系 对温度不敏感,稳定性好 | 大理石平面固定,镜头相对位置关系 对温度不敏感,稳定性好 | 大理石平面固定,镜头相对位置关系 对温度不敏感,稳定性好 | |||||||
平台架构 | 2Y/2Z | 2X/2Y/2Z | 2X/2Y/2Z | |||||||
对位方式 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | |||||||
数据处理及传输方式 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理, 稳定性更好,机台内部传输采用光纤 通信抗电磁干扰,拼接稳定性好 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理, 稳定性更好,机台内部传输采用光纤 通信抗电磁干扰,拼接稳定性好 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理, 稳定性更好,机台内部传输采用光纤 通信抗电磁干扰,拼接稳定性好 | |||||||
极限扫描速度 | 150mm/s | 75mm/s | 37.5mm/s | |||||||
产能(X=1100mm, Y=1300mm) | ||||||||||
高精度 | 180 片/hr | 80 片/hr | 40 片/hr | |||||||
标准 | 240 片/hr | 120 片/hr | 60 片/hr | |||||||
高产速 | 300 片/hr | 240 片/hr | 120 片/hr | |||||||