产品参数
型号 | DiSS-05HS | DiSS-02MS | DiSS-D5MS | |||||||
应用领域及优势 | MEMS、微光学、生物芯片、LED、IC封装 | |||||||||
[email protected]"X16" | [email protected]"X16" | [email protected]"X16" | ||||||||
灰度曝光 | 精细特征图形 | 高产速超精细线路LDI产品 | ||||||||
技术架构 | 405nm单波长+DMD+ 交互双台面+MLA镜头 | 405nm单波长+DMD+ 镜像台面+MLA镜头 | 405nm单波长+DMD+ 镜像台面+MLA镜头 | |||||||
DMD头数 | 8个头(One Scan) | 8个头(One Scan) | 16个头(One Scan) | |||||||
激光器功率 | 36W/head | 36W/head | 12W/head | |||||||
光斑尺寸/工艺解析 | 5μm | 2.5μm | 1μm | |||||||
建议量产线宽/线距 | 8μm/8μm | 4μm/4μm | 1.5μm/1.5μm | |||||||
资料解析度 | 1μm | 0.5μm | 250nm | |||||||
对位精度 | ±8μm | ±1μm | ±300nm | |||||||
支持基板尺寸 | 16" x 16" | |||||||||
镜头固定方式 | 大理石平面固定,镜头相对 位置关系对温度不敏感,稳定性好 | 大理石平面固定,镜头相对 位置关系对温度不敏感,稳定性好 | 大理石平面固定,镜头相对 位置关系对温度不敏感,稳定性好 | |||||||
平台架构 | 2Y/2Z | 2X/2Y/2Z | 2X/2Y/2Z | |||||||
对位方式 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | CCD图形识别+矢量图形旋转, 矢量图形直接数据运算, 对位精确度高且效率较快 | |||||||
数据处理及传输方式 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理,稳定性 更好,机台内部传输采用光纤通信抗电 磁干扰,拼接稳定性好 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理,稳定性 更好,机台内部传输采用光纤通信抗电 磁干扰,拼接稳定性好 | 矢量图形直接运算下发到分图服务器, 由专用数据运算卡做算法处理,稳定性 更好,机台内部传输采用光纤通信抗电 磁干扰,拼接稳定性好 | |||||||
极限扫描速度 | 150mm/s | 75mm/s | 37.5mm/s | |||||||
产能(X=16", Y=16") | ||||||||||
高精度 | 240 片/hr | 240 片/hr | 65 片/hr | |||||||
标准 | 300 片/hr | 300 片/hr | 100 片/hr | |||||||
高产速 | 360 片/hr | 360 片/hr | 200 片/hr | |||||||